深圳市金光華凈化設備有限公司
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隨著科學技術的發展,電子、醫藥、生化等行業的工藝技術突飛猛進,產品日新月異。如大規模集成電路已從微米發展到納米級并批量生產,受控粒子尺寸要求小于0.02μm,生產工藝對無塵室的環境要求更嚴格。
1 無塵室的建筑結構工程
無塵室的建筑結構設計和施工質量關系到無塵室裝飾、安裝和使用,因此無塵室建筑施工前應編制施工方案,并與無塵室其他專業施工協調配合。常見的問題是地面(以下均為底層)基礎回填密實度、防潮層不到位,地面開裂等。
A. 確保回填土的密實度
有的工程工期緊機械回填土未分層夯實,致使設備安裝時地坪下沉開裂。因此對回填土質量要嚴格控制,回填土施工時要進行旁站監理,確保回填土的密實度達到設計和規范要求。
B.新規范要求防水薄膜厚度不應小于1mm
行標與設計地面做法:素土夯實,夯實系數≥0.9。墊層為150厚碎石、卵石或3:7灰土,夯實后鋪設0.6 mm厚聚氯乙烯防水薄膜防潮,實踐證明0.6 mm厚防水薄膜容易破損。新規范要求灰土夯實后應鋪設≥1mm防水薄膜,接頭處搭接50mm并用膠帶粘牢,然后鋪20厚1:3水泥砂漿保護層。如設計圖仍是0.6 mm厚防水薄膜,要求設計變更。
C.地面應合理配置鋼筋網防裂
無塵室地面宜配置鋼筋網防裂,基層混凝土強度等級≥C25,混凝土厚度≥150mm。《無塵室建筑結構》圖集選用200厚C30細石混凝土內配¢8@150雙向鋼筋,隨打隨抹平,強度達標后表面磨平。PVC地面或環氧地面施工一般不是一家,二次施工往往會為地面平整度、面層強度、空鼓、起砂等扯皮,所以前期建筑結構施工把好質量關,對無塵室的施工質量十分重要。
2 無塵室地面施工
無塵室的裝飾材料應滿足隔熱、隔聲、防振、防蟲、防腐、防火、防靜電等要求外,還應保證無塵室的氣密性和裝飾表面不產塵、不吸塵、不積灰,并應易清洗,地面必須采用耐腐蝕、耐磨和抗靜電材料。無塵室地面以粘貼PVC地板和涂布環氧材料為多,現澆水磨石地面已很少選用。粘貼和涂布地面正式施工前應做小面積樣板,使粘結強度、耐磨性、表面電阻和觀感等技術指標符合要求,才可正式施工,以防返工造成損失。
A.粘貼地面施工(以防靜電PVC地板為例)
(1)粘貼、涂布地面施工前應用含水率測試儀器(CCM)對基礎地面進行現場測試,其含水率應在2%~4%,當含水率在4%~7%之間,要用雙份膠粘地面材料。對含水率>7%的基礎地面,必須采取加熱通風等干燥處理。含水率大又未干燥處理的地面“掄工期”施工,其結果是地面空鼓、脫皮而返工的教訓一定要吸取!
現場也可用塑料薄膜法(ASTM4263)檢測,用450 mm×450mm塑料薄膜平鋪在混凝土表面上,用膠帶紙密封四周邊16h后,塑料薄膜下出現水珠或混凝土表面變黑,說明混凝土過濕不宜粘貼、涂布;無水珠或濕氣存在可施工。
(2)無塵室地面粘貼的防靜電PVC板材或卷材,厚度一般選用2~3mm,厚度允許偏差+0.18mm~-0.15mm。有的“進口”PVC卷材是冒牌貨,進口材料的原產地證明、檢測報告和報關單等復印件易造假,仔細核對矛盾不少。要與原件核查報關單編號、日期、簽章、騎縫章、到岸港口、運輸方式、批號是否一致。
(3)防靜電PVC地板施工應采用非水溶性導電膠粘貼,非水溶性導電膠中炭黑與膠水的配合比為1:100,膠的電阻值應小于貼面板的表面電阻值(105~1010Ω),粘接強度>3×106N/m2(3MPa)。強力膠、環氧樹脂等非水溶性膠氣味大,有的施工隊用水基丙烯酸脂類粘膠劑(俗稱白膠、木工膠)。丙烯酸等水溶性粘膠劑雖然施工方便,氣味小也環保,但其粘接強度僅0.5MPa左右,與規范要求的相差甚遠。若水溶性粘膠劑的粘接強度達到要求,PVC地板粘貼時能否使用,值得有關部門探討。
(4)導電銅箔厚度不應小于0.05mm,寬度宜為25mm,是為了有效地防止靜電積聚。有的導電銅箔厚度僅0.03mm,寬度僅10mm,還說是新標準,保證沒有問題等等。所以對進場的材料要把好關,不要被忽悠。導電銅箔網間距按設計要求(一般為3000×3000mm),面積在100 m2以上時接地端子不小于2個,每增加100 m2,應增設接地端子2個。
(5)無塵室PVC地板施工環境溫度不應低于10℃,相對濕度不大于80%。鋪貼時一定要壓平,不能殘留空氣,地板粘貼4小時后才可進行接縫焊接。
B.涂布地面施工(以防靜電環氧自流平為例)
無塵室涂布地面以環氧自流平和環氧砂漿地面為多,涂布地面的基礎地面含水率≤7%才可施工。
(1)基層表面處理 涂布地面的基層表面應用噴砂或無塵電磨機清除地表灰砂、雜質,磨平后用吸塵器吸除灰砂。對凹陷、空洞地面應用環氧砂漿或環氧膩子填補后,才可進行底涂施工。不少“游擊隊”分包商沒有上述施工機械,甚至對地面未吹掃、填補就進行底涂,其施工質量可想而知。所以要選擇有資質的專業防腐施工隊,以保證無塵室涂布質量。
(2)按2.1 (4)要求鋪設導電銅箔并接地。
(3)中涂施工 將環氧色漿、固化劑與適量料徑的石英砂、導電粉充分攪拌(有時要熟化),以增強地面的耐磨及平整度。環氧拌料用鋸齒鏝刀鏝涂,然后用釘子輥來回輥壓,以排出膜內空氣,應在1小時內用完。(選用優質環氧樹脂加固化劑混合均勻,靜置幾分鐘后基本無氣泡)。加砂量大一些,可采用抹光機抹光。
(4)面涂施工 在中涂層實干2~3天(20℃)固化后,刮涂填平、打磨、吸塵清潔后,面層可用鏝涂、刷涂或噴涂,使其自行流平即可。防靜電環氧自流平厚度2~3 mm,(防靜電環氧砂漿厚度4~5 mm),施工后要養護7天完全固化。
(5)新規范要求涂布施工環境不宜低于20℃,相對濕度應低于85%,這是為了保證涂布質量。高溫時環氧涂料兩組份反應快,有時來不及流平就固化;5℃以下環氧涂料基本上不固化反應,粘度大難以施工。