要在潔凈室中使用的設備，在可能時應該在潔凈條件下制造，其包裝程序也應該應潔凈室內的要求。把設備送入潔凈室的過程不應增加對環境的污染。進入“空態”或“靜態”潔凈室的設備應該正確地拆包、清潔，否則以后要做大量的潔凈工作。特別應該注意的是設備進入“動態”潔凈室前應該考慮的問題。這不僅會使潔凈室處于污染的風險中，還會危及工藝過程中的產品，同樣要求大量的潔凈工作，而且還要按ISO 14644-2重新認證潔凈室。應該制定適當的策略，避免出現上述問題。

安裝設備的有效方法是把設備與潔凈室環境的其余部分隔離開，用臨時的隔離墻或隔斷設備周圍，設備周圍留出足夠的空間，保證不妨礙設備的安裝。

1）如果可能就通過服務通道或其它非關鍵區進入隔離區。如果不可能，應采取措施盡量減少由結構造成的污染。流向該隔離區的氣流應該保持中性壓力或負壓，避免氣流強制流出工作區帶來污染的可能性。

2）完全密封的隔離區不應從內部加壓，否則污染可能會穿透屏障，影響周圍的潔凈室。隔離區內應該阻斷潔凈空氣的送風，避免給周圍的潔凈室造成壓力。 如果只有通過相鄰的潔凈室才能進入隔離區，應該采用粘性墊，除掉鞋子上帶的污染。進入隔離區后，可能要求用一次性靴子或鞋套來避免污染潔凈服。離開隔離區前要把這些一次性物品脫下。

3）應該制定監控隔離區周圍區域的方法和頻率，確保能檢測出任何滲漏進相鄰潔凈室內的污染。

4）然后，架設各種動力設施，如電、水、氣體、真空、壓縮空氣何廢水管道。應該注意對這些作業產生的煙氣和殘物盡可能全部加以控制和包納，避免由于疏忽而弄到周圍的潔凈室內，這也有助于拆除隔離屏障前能有效的清潔。

5）然后應該采用認可的潔凈程序清除整修隔離區的污染。所有表面都要真空清潔、擦拭和清理，包括所有的墻、固定的和便捷式的設備及地面。

6）要特別注意設備護板后面和設備下面區域的清潔。

7）現在可以作一些內部的準備工作和設備性能的初步測試，但最后驗收的測試要求完全具備潔凈室條件才行。

8）現在可以小心地拆除隔離墻，經過過濾的空氣可以接入送風。進行這一步的時間應該仔細地選定，盡量減少對潔凈室內正常工作的干擾。還可要求作粒子測量或測試。

9）設備內部和關鍵的加工小室應該在正常的潔凈室條件下進行清潔和投入使用的準備工作。

10）對所有適當的內腔室和所有與產品接觸或涉及產品傳遞的表面都要進行擦拭，達到要求的潔凈度級別。設備的清潔程序應該是從頂到底，因為如果有粒子散布，較大的粒子會因重力而落到設備的底部或地面上。

11）清潔設備外部，順序也是從頂到底。

12）必要時，應該檢查產品或工藝要求非常關鍵的區域的表面粒子情況。